substrat MgF2
Katerangan
MgF2 dipaké salaku lénsa, prisma jeung jandela pikeun panjang gelombang ti 110nm mun 7.5μm.Éta mangrupikeun bahan anu paling cocog salaku jandela pikeun ArF Excimer Laser, kusabab transmisi anu saé dina 193nm.Éta ogé mujarab salaku polarisasi optik di daérah ultraviolét.
Pasipatan
| Kapadetan (g/cm3） | 3.18 |
| Titik lebur (℃) | 1255 |
| Konduktivitas termal | 0,3 Wm-1K-1 dina 300K |
| Ékspansi termal | 13,7 x 10-6 / ℃ paralel sumbu c 8,9 x 10-6 / ℃ jejeg sumbu c |
| Knoop Teu karasa | 415 kalawan 100g indenter (kg/mm2) |
| Kapasitas Panas Spésifik | 1003 J/(kg.k) |
| Konstanta diéléktrik | 1,87 di 1MHz paralel c-sumbu 1,45 di 1MHz jejeg c-sumbu |
| Modulus Youngs (E) | 138,5 GPa |
| Modulus geser (G) | 54,66 GPa |
| Modulus Bulk (K) | 101.32 GPa |
| Koéfisién élastis | C11=164;C12=53;C44=33.7 C13=63;C66=96 |
| Wates elastis semu | 49,6 MPa (7200 psi) |
| Babandingan Poisson | 0.276 |
Harti substrat MgF2
Substrat MgF2 nujul kana substrat anu didamel tina bahan kristal magnésium fluorida (MgF2).MgF2 nyaéta sanyawa anorganik anu diwangun ku unsur magnésium (Mg) jeung fluorin (F).
Substrat MgF2 gaduh sababaraha sipat anu kasohor anu ngajantenkeun aranjeunna populer dina sababaraha aplikasi, khususna dina widang optik sareng déposisi film ipis:
1. Transparansi tinggi: MgF2 boga transparansi alus teuing di ultraviolét (UV), katempo jeung infra red (IR) wewengkon spéktrum éléktromagnétik.Mibanda rentang transmisi lega ti ultraviolet dina ngeunaan 115 nm ka infra red dina ngeunaan 7.500 nm.
2. indéks low réfraksi: MgF2 boga indéks réfraksi rélatif low, nu ngajadikeun eta hiji bahan idéal pikeun coatings ar jeung élmu optik, sabab ngaminimalkeun reflections nu teu dihoyongkeun tur ngaronjatkeun transmisi cahaya.
3. Nyerep low: MgF2 némbongkeun nyerep low di wewengkon spéktral ultraviolét jeung katempo.Sipat ieu ngajantenkeun mangpaat dina aplikasi anu ngabutuhkeun kajelasan optik anu luhur, sapertos lénsa, prisma, sareng jandéla pikeun sinar ultraviolét atanapi katingali.
4. Stabilitas kimiawi: MgF2 sacara kimiawi stabil, tahan ka rupa-rupa bahan kimia, sarta ngajaga sipat optik jeung fisik na dina rupa-rupa kaayaan lingkungan.
5. stabilitas termal: MgF2 ngabogaan titik lebur tinggi na bisa tahan hawa kerja tinggi tanpa degradasi signifikan.
Substrat MgF2 biasana dianggo dina palapis optik, prosés déposisi film ipis, sareng jandéla optik atanapi lénsa dina sababaraha alat sareng sistem.Éta ogé tiasa janten lapisan panyangga atanapi témplat pikeun kamekaran film ipis sanés, sapertos bahan semikonduktor atanapi palapis logam.
Substrat ieu biasana diproduksi nganggo téknik sapertos déposisi uap atanapi metode transportasi uap fisik, dimana bahan MgF2 disimpen dina bahan substrat anu cocog atanapi tumbuh salaku kristal tunggal.Gumantung kana syarat aplikasi, substrat tiasa dina bentuk wafer, piring, atanapi bentuk khusus.
